化工行业标准《高纯工业品 过氧化氯》HG/T 5736-2020
| 序号 | 项目 | 指标 | |||||
| HP型 | UP型 | ||||||
| HP-1级 | HP-2级 | UP-1级 | UP-2级 | UP-3级 | UP-4级 | ||
| 1 |
含量（H2O2%），W/% |
30-35 |
30-35 |
30-32 |
30-32 | 30-32 |
30-32 |
| 2 |
色度（Hazen），≤ |
- |
- |
10 |
10 | 10 |
10 |
| 3 |
游离酸（H2SO4），ppm ≤ |
30 |
30 |
30 |
30 | 10 |
10 |
| 4 |
总有机碳（TOC），ppm,≤ |
40 |
40 |
20 |
20 | 10 |
10 |
| 5 |
氯化物（Cl），ppm,≤ |
0.5 |
0.5 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 6 |
硝酸盐（SO3），ppm,≤ |
4 |
2 |
0.4 |
0.4 | 0.03 |
0.03 |
| 7 |
磷酸盐（PO4），ppm,≤ |
2 |
1 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 8 |
硫酸盐（SO4），ppm,≤ |
2 |
2 |
0.2 |
0.2 | 0.03 |
0.03 |
| 9 |
铝（Al，ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 10 | 砷（As），ppb，≤ |
50 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 11 | 硼（B），ppb，≤ | 20 | 20 | 10 | 1 | 0.1 |
0.01 |
| 12 | 钡（Ba），ppb，≤ | 100 | 50 | 10 | - | - | 0.01 |
| 13 | 钙（Ca），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 14 | 镉（Cd），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | - |
- |
| 15 | 铬（Cr），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 16 | 铜（Cu），ppb，≤ |
20 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 17 | 铁（Fe），ppb，≤ |
100 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 18 | 钾（K），ppb，≤ |
200 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 19 | 镁（Mg），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 20 | 锰（Mn），ppb，≤ |
50 |
20 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 21 | 钠（Na），ppb，≤ |
500 |
100 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 22 | 镍（Ni），ppb，≤ |
50 |
10 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 23 | 铅（Pb），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 24 | 锑（Sb），ppb，≤ |
20 |
20 |
5 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 25 | 锡（Sn），ppb，≤ |
50 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 26 | 钛（Ti），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
0.1 |
0.01 |
|
| 27 | 矾（V），ppb，≤ |
- |
- |
10 |
1 | - |
0.01 |
| 28 | 锌（Zn），ppb，≤ |
100 |
50 |
10 |
1 | 0.1 |
0.01 |
| 29 |
颗粒数,（μm，pcs/mL） ≤ |
- |
- |
- |
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超高纯电子级过氧化氢是一种十分重要的湿电子化学品，主要用作集成电路半导体和硅晶片的清洗剂、蚀刻剂、光刻胶去除剂，产品中的杂质会对元器件性能产生致命影响，对集成电路成品率、电性能及可靠性有十分重要的影响， 因此半导体行业对超高纯过氧化氢产品的纯度要求非常苛刻。在半导体材料领域，目前线宽7纳米制程和晶圆12英寸以上制程需要过氧化氢的离子杂质达到＜10ppt水平。
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200升英特格桶 |
IBC桶 |
20-30t槽罐车（内衬PFA/n-PDFE） |
本品按氧化剂运输规则运输，防止剧烈振摇；
请勿直接用手接触，操作应配戴塑胶手套；
若不慎接触或包装发生泄漏，请用大量水冲洗。
